探讨低真空镀膜仪的辉光放电功能

 　　低真空镀膜仪是一种利用物理气相沉积技术，在较低的压力下对材料进行镀膜的设备。它通过产生较低的气压环境，使得蒸发源中的材料能够在较小的气体分子数密度下扩散和沉积在基底表面上。这种设备常用于制备具有特定功能和性能的薄膜材料。辉光放电是镀膜仪中的一项重要功能，它起到激活沉积材料表面的作用，提高薄膜的附着力和质量。